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氣動波紋管泵的特點是什么

更新時間：2023-05-08      瀏覽次數：800

FLP系列的特點

  • 低脈動

  • 驅動機構將波紋管的運動控制到消除泵脈動的最佳相位。實現極低脈動運行。（ PAT。）

  • 適用于單晶圓工藝的出色負載跟隨性

  • 通過進行相位控制，提高了負載變動時的跟蹤性能。特別是在單晶圓工藝等壓力波動頻繁的生產線中，其高負載跟隨性可實現吐出量和吐出壓力的穩定運行。

  • 無需阻尼器，節省空間

  • 由于不需要安裝阻尼器，因此可以節省設備空間。配管作業簡單，可減少氟樹脂接頭等昂貴的配管材料，有助于實現設備的小型輕量化。

  • 安全設計

  • 波紋管焊接結構，防止漏液，即使波紋管破損，采用漏液傳感器檢測漏液情況


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