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NAPSON EC-80P 非接觸式渦流電阻/電阻率測量儀 的產(chǎn)品規(guī)格說明書

更新時間：2026-03-09      瀏覽次數(shù)：153

NAPSON EC-80P 非接觸式渦流電阻/電阻率測量儀 的產(chǎn)品規(guī)格說明書

?? 1. 產(chǎn)品概覽


  • 產(chǎn)品名稱：EC-80P Non-Contact Type (非接觸式)

  • 測量原理：渦流法 (Eddy Current method)

  • 啟動方式：探頭接觸樣品自動開始測量

  • 測量模式：提供三種模式，分別為晶圓電阻率、體電阻率和薄層電阻（Sheet Resistance）。


?? 2. 測量范圍與探頭類型


該設(shè)備的測量范圍取決于所選的探頭類型，具體參數(shù)如下表所示：

參數(shù)低阻探頭中阻探頭高阻探頭超高阻探頭太陽能晶圓探頭
電阻率 (Ω.cm)0.001 - 0.050.05 - 0.50.5 - 60.060.0 - 200.00.2 - 15.0
薄層電阻 (Ω/Sq)0.01 - 0.50.5 - 10.010.0 - 1k1k - 3k5 - 500




?? 3. 適用材料與操作


  • 適用材料：

    • 半導體與光伏：硅 (Silicon)、多晶硅、碳化硅 (SiC) 等。

    • 功能材料：碳納米管、DLC（類金剛石碳）、石墨烯、銀納米線等。

    • 導電薄膜：金屬、ITO（氧化銦錫）等。

    • 化合物半導體：砷化鎵外延 (GaAs Epi)、氮化鎵外延 (GaN Epi)、磷化銦 (InP) 等。

  • 操作特點：通過 JOG 旋鈕 即可輕松設(shè)置測量條件。


該設(shè)備專為半導體及光伏行業(yè)設(shè)計，通過非接觸式渦流技術(shù)實現(xiàn)對多種導電材料的快速電阻率檢測，覆蓋了從低阻到超高阻的廣泛測量需求。



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