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什么是ESC高壓電源？

更新時(shí)間：2026-07-11      瀏覽次數(shù)：72
ESC是“靜電吸盤"（Electric Static Chuck）的縮寫。在半導(dǎo)體和液晶面板的制造過(guò)程中，需要將硅晶圓或玻璃基板在真空環(huán)境中牢固地吸附和固定。

  • 工作原理：傳統(tǒng)的機(jī)械夾具容易損傷晶圓，而真空吸盤在真空中無(wú)法使用。ESC技術(shù)通過(guò)在陶瓷板內(nèi)嵌入電極，并施加高電壓產(chǎn)生靜電，從而將晶圓牢牢吸附在吸盤表面。

  • 電源的作用：ESC高壓電源就是為靜電吸盤提供所需高電壓的關(guān)鍵設(shè)備。

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