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Laurell WS-650-8B旋涂機(jī):實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體晶圓與基片高精度涂覆、刻蝕與顯影

更新時間:2026-07-16      瀏覽次數(shù):12
在半導(dǎo)體、生物技術(shù)及納米技術(shù)等前沿領(lǐng)域,精密的表面處理工藝是決定產(chǎn)品性能與研發(fā)成敗的關(guān)鍵。Laurell WS-650-8B旋涂機(jī)作為一款功能先進(jìn)的臺式設(shè)備,憑借其緊湊的設(shè)計(jì)、非常強(qiáng)的性能和智能化的控制系統(tǒng),為這些領(lǐng)域的精密涂覆、刻蝕與顯影工藝提供了可靠的解決方案。

Laurell WS-650-8B旋涂機(jī):實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體晶圓與基片高精度涂覆、刻蝕與顯影

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核心性能:緊湊設(shè)計(jì),非常強(qiáng)的兼容

Laurell WS-650-8B是一款結(jié)構(gòu)緊湊的臺式旋涂儀,專為節(jié)省寶貴的實(shí)驗(yàn)室空間而設(shè)計(jì),同時不犧牲任何核心性能。其非常強(qiáng)的兼容性使其能夠處理直徑達(dá)200毫米的晶圓以及7英寸×7英寸(178毫米×178毫米)的方形基片,滿足了多樣化的實(shí)驗(yàn)需求。
設(shè)備的核心驅(qū)動力是其高性能電機(jī),最高轉(zhuǎn)速可達(dá)12,000轉(zhuǎn)/分鐘(以100毫米硅晶圓為基準(zhǔn)),確保了涂層的均勻性和工藝的精確性。


智能控制:靈活編程,實(shí)時監(jiān)控

WS-650-8B配備了先進(jìn)的650系列過程控制器,該控制器采用高性能微處理器,賦予了設(shè)備之前所沒有的靈活性。
  • 實(shí)時交互:操作員可以在工藝流程中隨時進(jìn)行暫停、停止或從斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行等操作,極大地提升了實(shí)驗(yàn)的便利性和可控性。

  • 遠(yuǎn)程操作與記錄:通過配套的PC軟件,用戶可以實(shí)現(xiàn)對設(shè)備的遠(yuǎn)程操作、工藝編程和數(shù)據(jù)記錄。軟件還支持創(chuàng)建虛擬工藝仿真,方便在實(shí)際運(yùn)行前進(jìn)行測試和優(yōu)化。

  • 固件升級:系統(tǒng)支持通過下載固件進(jìn)行便捷的現(xiàn)場升級,確保設(shè)備功能與時俱進(jìn)。


優(yōu)秀材質(zhì):耐化學(xué)腐蝕,保障潔凈

針對復(fù)雜的化學(xué)工藝環(huán)境,WS-650-8B在材質(zhì)和安全設(shè)計(jì)上表現(xiàn)出色。
  • 耐化學(xué)性外殼:設(shè)備外殼由Laurell自家研發(fā)的固態(tài)共聚物混合材料制成,能夠有效耐受溶劑、強(qiáng)酸和強(qiáng)堿的侵蝕。此外,還可選配特氟龍®(Teflon®)外殼,以應(yīng)對更苛刻的高溫化學(xué)工藝。

  • 潔凈工藝腔:采用封閉式腔體設(shè)計(jì)和專有的迷宮式密封,不僅有效防止化學(xué)品污染電機(jī)和電子元件,還支持氮?dú)獯祾撸_保在亞微米級別上實(shí)現(xiàn)無顆粒污染的潔凈工藝環(huán)境。

  • 多重安全保障:設(shè)備具備完的善的電氣隔離、防誤操作的門聯(lián)鎖系統(tǒng),并通過了ETL、UL、CSA、CE和RoHS等多項(xiàng)國際安全認(rèn)證,確保長期安全穩(wěn)定運(yùn)行。


廣泛應(yīng)用:覆蓋多種濕法工藝

Laurell WS-650-8B旋涂機(jī)通常被用于基于溶劑、堿或酸的多種濕法工藝,其應(yīng)用范圍廣泛,主要包括:
  • 涂覆 (Coating):如光刻膠、聚合物、納米材料等的均勻涂布。

  • 刻蝕 (Etching):進(jìn)行精密的化學(xué)刻蝕。

  • 顯影 (Developing):用于光刻工藝中的顯影步驟。

  • 沖洗-干燥 (Rinsing-Drying):完成工藝后的清洗與干燥。

  • 清洗 (Cleaning):對基片進(jìn)行預(yù)處理或后處理清洗。


豐富選配:滿足定制化需求

為了滿足不同應(yīng)用場景的特殊需求,WS-650-8B提供了豐富的選配項(xiàng):
  • 卡盤與適配器:提供數(shù)千種標(biāo)準(zhǔn)和定制的真空卡盤或適配器,以固定不同尺寸和形狀的基片。

  • 安裝方式:除了標(biāo)準(zhǔn)的臺面安裝,還支持濕法工作臺內(nèi)安裝(IND)和防震基座安裝(OND)。

  • 真空系統(tǒng):可選配集成式可變氣動真空發(fā)生器(IV-PVG),該系統(tǒng)無運(yùn)動部件,易于清潔和維護(hù)。

  • 其他配件:包括可拆卸的工藝腔內(nèi)襯、晶圓對準(zhǔn)工具以及多種排氣和排液選項(xiàng),為用戶提供方方位位的定制可能。



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