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日本YAMADA KOGAKU（山田光學）高亮度的定向光源怎么檢測半導體晶圓？

更新時間：2026-06-17      瀏覽次數：35
這款設備通過提供超高亮度的定向光源，來輔助人工或機器視覺系統檢測半導體晶圓表面的微觀缺陷。它由YAMADA KOGAKU 公司生產的設備（如YP-150I、YP-250I及YP-250IL型號）的具體檢測原理和應用方式如下：

日本YAMADA KOGAKU（山田光學）高亮度的定向光源怎么檢測半導體晶圓？

核心檢測原理

這款設備本質上是一個高亮度鹵素/LED光源裝置，它并不直接“分析"缺陷，而是通過提供極的致的照明條件，讓缺陷“無所遁形"。
  1. 超高照度（High Illuminance）：

    • 設備的照度（Illuminance）達到 400,000 Lx以上。

    • 這一亮度是日光（Sunlight）的4倍以上。如此高強度的光線能夠穿透微觀層面，使得通常肉眼難以察覺的微小瑕疵產生明顯的光影變化，從而被觀察到。

  2. 宏觀觀察（Macro-observation）：

    • 它屬于宏觀觀察照明設備，主要用于晶圓加工過程中的最終成品表面檢測。


具體檢測對象

在半導體晶圓和液晶基板的加工階段，該設備主要用于檢測以下類型的缺陷：

  • 異物/外來物（Foreign matter）：附著在表面的灰塵或雜質。

  • 劃痕（Scratches）：表面的線性損傷。

  • 拋光不均（Polishing irregularities）：表面處理不平整。

  • 暈染/霧狀缺陷（Haze）：表面出現的模糊或散射現象。

  • 滑移線（Slips）：晶體結構中的滑移痕跡。


技術規格與應用

特性維度詳細說明
光斑直徑根據型號不同（YP-150I / YP-250I / YP-250IL），照射直徑分為 30mmφ 或 40mmφ。
照射距離有效工作距離為 140mm 或 220mm（取決于型號）。
光源類型提供 鹵素燈（高亮度，色溫約3400K）和 LED（壽命長達10,000小時）兩種選擇。
應用場景直接應用于 Wafer and glass substrate inspection（晶圓和玻璃基板檢測）。


總結

簡單來說，這款設備就像一個超級聚光燈。在檢測時，它將非常強的光線聚焦在晶圓表面（30mm或40mm范圍），利用光的反射、折射和散射原理，將微米甚至納米級的缺陷放大成肉眼或傳感器可見的明暗對比，從而幫助操作人員或自動化系統識別出異物、劃痕等問題。



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