Sonosys Digital Generator 兆聲波清洗用數字發生器（支持Modbus通信）

更新時間：2026-07-27

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產品概述

Sonosys® Digital Generator（數字式兆聲波發生器）是專為半導體及精密微電子行業打造的新一代兆聲波清洗核心驅動單元。該設備采用全數字控制技術替代傳統模擬電路，支持通過Modbus協議實現遠程功率管理、頻率與占空比調節，并具備實時運行數據監控能力。整機采用緊湊型19英寸模塊化機架結構，支持多模塊集成于同一EMC屏蔽機箱內，既有效節省系統安裝空間，又極大提升了設備的維護便捷性與產線擴展能力。

Sonosys Digital Generator 兆聲波清洗用數字發生器（支持Modbus通信）

核心技術參數

項目	規格說明
頻率范圍	400 kHz – 9 MHz（覆蓋從粗洗到亞微米級精密清洗的全頻段需求）
輸出功率	模塊化設計，單模塊輸出功率可調（如MLM模塊最高60W/模塊，MHM系列可達2000W@400kHz–1MHz）
功率調節	各模塊獨立可調，支持本地LCD面板或遠程接口精確設定
通信接口	標配Modbus通信協議，支持遠程控制功率、開關機、頻率及占空比
監控功能	實時監測內部溫度、實際輸出功率及故障狀態，數據直觀顯示于LCD屏
結構設計	緊湊型EMC屏蔽19英寸機箱，支持多模塊熱插拔集成，安裝支架適配標準機柜
配套軟件	提供專用應用程序（App）用于參數配置、運行狀態監控及數據分析
安全特性	集成干運行檢測（Dry Run Detection）、自動頻率追蹤算法、低反射功率拓撲設計

核心優勢

• 智能互聯，賦能智慧工廠

全面支持Modbus遠程通信，可實現功率調節、啟停控制及運行數據的實時回傳，輕松接入PLC、SCADA或MES系統，顯著提升半導體生產線的自動化水平與數字化管理能力。

• 極的致的緊湊，優化空間利用

采用19英寸標準化模塊化機架設計，多個功能模塊可高度集成于單一EMC屏蔽機箱，大幅縮減設備占地面積，安裝簡便，后期維護更加高效。

•全數字控制，工藝高度一致

摒棄傳統模擬電路，實現輸出功率的數字化精確調控及頻率、占空比的遠程微調，有效保障不同批次、不同機臺間清洗工藝的高度一致性與可重復性。

•自適應調諧，能效轉化優異

內置智能算法，可根據換能器阻抗變化實時自動匹配調諧，最大限度降低反射功率，提高電能向聲能的轉換效率，確保兆聲波能量輸入的最的大的化的與穩定性。

•全的方位監控，運行安全無憂

前置LCD面板實時顯示各模塊關鍵參數；配套App提供可視化監控界面；干運行檢測功能可有效預防設備損壞，多重保護機制確保設備長期穩定運行。

•廣泛兼容，保護客戶投資

除完的美的適配自有換能器外，還可通過標準50Ω輸出端口靈活匹配第三方換能器產品，充分保護客戶現有設備投資。

典型應用場景

應用領域	工藝環節	清洗對象
半導體制造	晶圓預清洗 / SC1清洗 / Post-CMP清洗	納米級顆粒、CMP漿料殘留、金屬離子污染
光刻工藝	光刻膠去除（Stripping）輔助工藝	亞微米級光刻膠殘留物
先進封裝	TSV硅通孔、3D IC封裝清洗	微孔及窄縫內的頑固污染物
MEMS / 微納加工	濕法刻蝕后清洗	MEMS敏感微結構表面的微粒
平板顯示 / 光學	玻璃基板、精密光學元件制程	亞微米顆粒、有機殘留及微觀缺陷

兆聲波（Megasonic, >400kHz）相較于傳統低頻超聲波，能夠產生更穩定、溫和的聲流效應與空化作用，在高效剝離納米級污染物的同時，有效避免對精密微結構造成損傷。

系統集成建議

• 通信對接：利用標準的Modbus接口協議，將發生器無縫接入現有產線的主控系統，實現集中監控、數據追溯及工藝配方化管理。

• 模塊配置：根據實際清洗槽/噴嘴的數量及所需總功率預算，靈活選擇MLM（低功率多模塊分布式）或MHM（高功率集中式）組合方案。

• 換能器匹配：推薦選用原廠配套噴嘴或振板以獲得最佳諧振效果；如有特殊需求，可通過標準50Ω端口適配第三方換能器