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AD?TEC TXR/TXL/TXM 系列等離子高頻電源半導體刻蝕工藝用
AD?TEC TXR/TXL/TXM 系列等離子高頻電源半導體刻蝕工藝用覆蓋 400kHz?27.12MHz 多頻段，可實現等離子激發，支持脈沖、電弧保護、EtherCAT 通訊。主要用于等離子清洗、刻蝕、鍍膜、表面改性工藝，適配半導體、光掩模、真空鍍膜等行業，滿足設備自動化產線使用需求。
更新時間：2026-08-19

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