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探頭/控制器與傳感器類
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MIYUKI Mebras MG?mini485 半導體真空腔體壓力閉環 自動壓力控制器 自動壓力控制器實現 ±0.5% 高精度真空壓力閉環調控，具備雙 PID 記憶、RS485 通訊，支持 7 臺設備組網聯動，適配 GAR、BAR 閥門，兼容多款真空計信號。多用于半導體、真空鍍膜、工業工藝腔體行業，穩定調節腔體壓力，保障真空工藝工況穩定。
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