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半導體真空腔體如何做高精度壓力閉環?選 MIYUKI MG?mini485 壓力控制器

更新時間:2026-08-21      瀏覽次數:15

半導體真空工藝對腔體內壓力穩定性要求嚴苛,壓力波動會直接影響產品良率。MIYUKI MG?mini485 自動壓力控制器專為真空壓力閉環調控開發,依靠 PID 控制算法,可達成設定壓力 ±0.5% 的控制精度,解決真空腔體壓力波動難題,適配多通道真空工況使用。

半導體真空腔體如何做高精度壓力閉環?選 MIYUKI MG?mini485 壓力控制器

產品參數

控制器型號:MG?mini485壓力控制范圍:1~10?Pa適配閥門:GAR/BAR通訊方式:RS?485 兩線式,支持 I/O 硬接點組網能力:最多 7 臺多分支并聯真空計輸入:DC0~5V、DC0~10V,可選 4?20mA供電:DC24V±5%,最大功耗 90W外形尺寸:110mm×260mm×145mm重量:1.6kg工作環境:0?50℃室內,濕度 90% 以下


應用場景

廣泛用于半導體工藝腔體、真空鍍膜設備、各類工業真空系統。設備內置 2 組 PID 記憶功能,上電自動原點回零,可通過上位機完成參數配置與操作。多臺組網模式可滿足多腔體同步控制需求,兼容不同類型真空計信號輸入,斷電可維持閥門狀態,保障工藝連續性,降低壓力波動帶來的工藝不良。


總結

MIYUKI MG?mini485 自動壓力控制器憑借高精度閉環控制、RS485 組網能力,滿足半導體及真空行業嚴苛工況,穩定調控腔體壓力,是真空壓力控制環節可靠的控制單元。





深圳九州工業品有限公司成立于2016年,坐落于年輕奮進的深圳市,是一家工業品綜合服務商。主要包括機電設備、電子產品、儀器儀表、工業器材的銷售及其它國內貿易、經營進出口等業務。聯合國際名品牌搭建工業品供應鏈,采用與 MRO分銷商結盟的方式,把零散采購訂單集中處理,流程簡化,提供一站式供應服務。在美國、德國、日本、韓國、中國臺灣建立采購中心,一的流的專業各區域采購團隊、技術顧問、銷售團隊為各種領域提供各類高品質的工業產品和優質的整合服務。通過與廠家建立快捷、有效的溝通,和眾多國外生產廠家建立了長久合作伙伴關系。

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