在半導(dǎo)體晶圓、光掩膜、光學(xué)玻璃基板、光學(xué)鏡片制造工序中，微米級(jí)劃痕、表面微粒、霧斑、清洗殘留污漬、亞表面缺陷依靠普通照明很難識(shí)別，極易造成漏檢。日本 S-VANS 旗下SENA Superbeam高照度目視檢查照明裝置，憑借數(shù)十年光學(xué)檢測(cè)技術(shù)積累，采用專用光學(xué)透鏡與鹵素光源方案，輸出高定向穩(wěn)定強(qiáng)光，依托丁達(dá)爾效應(yīng)實(shí)現(xiàn)精密工件微觀缺陷目視篩查，廣泛應(yīng)用于來料檢驗(yàn)、制程巡檢、成品終檢，是光學(xué)與半導(dǎo)體行業(yè)主流目視強(qiáng)光檢測(cè)設(shè)備。

一、SENA Superbeam 檢測(cè)原理

SENA Superbeam 核心檢測(cè)邏輯為丁達(dá)爾效應(yīng)光學(xué)目視檢測(cè)法。設(shè)備輸出高定向連續(xù)光譜強(qiáng)光，以低角度斜射方式照射透明基材、高拋光工件；光線接觸微小劃痕、凹陷、表面塵埃、內(nèi)部氣泡、鍍膜不均區(qū)域時(shí)發(fā)生散射，使缺陷與完好表面形成強(qiáng)烈明暗反差，肉眼捕捉常規(guī)光源無法顯現(xiàn)的微觀不良。整機(jī)采用直流穩(wěn)壓點(diǎn)燈電路，消除工頻頻閃，長(zhǎng)時(shí)間人工目視作業(yè)不易視覺疲勞；鹵素全光譜白光顯色性優(yōu)異，對(duì)比單色 LED 光源，可同時(shí)識(shí)別結(jié)構(gòu)性劃痕與色差類不良，降低誤判概率。

二、產(chǎn)品系列與核心硬件特性

SENA Superbeam 為完整產(chǎn)品系列，主流分為LE 鹵素光源系列、FI 光纖導(dǎo)入系列，市場(chǎng)最的常用型號(hào)：185LE（標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型）、100LE 廣角機(jī)型、350LSFI 光纖式超高照度機(jī)型。

核心硬件優(yōu)勢(shì)

1. 照度高、光斑均勻專屬光路透鏡優(yōu)化，照射區(qū)域照度分布均勻，強(qiáng)光輸出穩(wěn)定；同工況下局部峰值照度突出，適合微小瑕疵檢出。

2. 可調(diào)光圈 + 無級(jí)亮度調(diào)節(jié)燈頭內(nèi)置多規(guī)格光圈組件，自由切換光斑直徑；電源端 0~100% 線性調(diào)光，適配高反光拋光件、低透光光學(xué)基材。

3. 多種安裝形態(tài)可選支持臺(tái)式支架固定、懸臂支架安裝；185LE 提供手持手柄版本，適合大面積面板、大型工件移動(dòng)巡檢。

4. 可靠散熱與安全防護(hù)鋁制輕量化燈頭 + 強(qiáng)制風(fēng)冷結(jié)構(gòu)，內(nèi)置溫度保險(xiǎn)絲，異常高溫自動(dòng)保護(hù)，防止光源燒毀，滿足產(chǎn)線長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

5. 拓展配件豐富可加裝各色濾光片、無塵室專用排氣套件；光纖型號(hào)可分離光源頭部與主機(jī)，規(guī)避高溫影響待測(cè)精密元器件。

主流型號(hào)定位區(qū)分

三、典型行業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體行業(yè)拋光硅晶圓、光掩膜基板表面劃痕、微粒異物、霧狀缺陷、清洗殘留目視檢驗(yàn)；光刻基板外觀不良篩查。

2. 顯示面板產(chǎn)業(yè)LCD/OLED 玻璃基板、光學(xué)載板、彩色濾光片點(diǎn)狀不良、劃傷、表面污漬檢測(cè)。

3. 精密光學(xué)制造光學(xué)鏡片、棱鏡、光學(xué)薄膜內(nèi)部氣泡、結(jié)晶、亞表面瑕疵質(zhì)檢。

4. 存儲(chǔ)零部件制造硬盤盤片表面顆粒、微劃痕外觀目視檢查。

5. 精密精加工領(lǐng)域高光拋光金屬件、透明塑膠元件細(xì)微壓痕、麻點(diǎn)外觀檢驗(yàn)。

可有效檢出缺陷：微米級(jí)表面劃痕、塵點(diǎn)異物、內(nèi)部氣泡、霧斑、鍍膜厚薄不均、指紋殘留、亞表面損傷。

四、使用注意事項(xiàng)

1. 機(jī)型為鹵素光源，燈泡屬于消耗品，長(zhǎng)期滿亮度工作會(huì)加速老化，持續(xù)檢測(cè)建議適度下調(diào)亮度延長(zhǎng)耗材壽命；

2. 燈頭工作狀態(tài)溫度較高，避免近距離觸碰光學(xué)窗口；

3. 光學(xué)鏡片保持潔凈，表面積灰會(huì)降低有效照度，影響缺陷對(duì)比度；

4. 最的優(yōu)的檢測(cè)方式采用低角度斜向布光，最的大化發(fā)揮丁達(dá)爾散射效果；

5. 如需規(guī)避熱源影響工件，優(yōu)先選用 350LSFI 光纖分離式機(jī)型。

結(jié)語

人工目視檢測(cè)仍是高的端的精密制造不可少的質(zhì)控環(huán)節(jié)，光源性能直接決定缺陷檢出能力。SENA Superbeam 高照度照明裝置憑借穩(wěn)定強(qiáng)光輸出、靈活的安裝方案與成熟全光譜鹵素光路方案，適配晶圓、光掩膜、光學(xué)基板等高要求質(zhì)檢工位，是經(jīng)過大量產(chǎn)線驗(yàn)證的經(jīng)典目視強(qiáng)光檢測(cè)方案。企業(yè)選型時(shí)，常規(guī)通用檢測(cè)優(yōu)選 185LE；大面積工件移動(dòng)巡檢可選手持版本；狹小密閉工位、需要隔離熱源場(chǎng)景，推薦光纖型 350LSFI。

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